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TY  - THES
AU  - Dani, Prafullkrishna Kiran
TI  - Investigation of the release of hydrogen gas from PECVD thin films in cavities of MEMS sensors
PB  - Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
VL  - Dissertation
CY  - Aachen
M1  - RWTH-2025-06821
SP  - x, 107 Seiten : Illustrationen
PY  - 2025
N1  - Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2025
LB  - PUB:(DE-HGF)11
UR  - https://publications.rwth-aachen.de/record/1016218
ER  -