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%0 Journal Article
%A von Fragstein, Friederike
%A Schmachtenberg, Ernst
%A Hegenbart, Andreas Christoph
%T Monitoring of plasma processes by OES
%J Vakuum in Forschung und Praxis : VIP
%V 19
%N S1
%@ 0947-076X
%C Weinheim
%I WILEY-VCH
%M RWTH-CONV-038242
%P 39-43
%D 2007
%F PUB:(DE-HGF)16
%9 Journal Article
%R 10.1002/vipr.200790042
%U https://publications.rwth-aachen.de/record/160069