000160069 001__ 160069 000160069 005__ 20220810091822.0 000160069 0247_ $$2ISSN$$a0947-076X 000160069 0247_ $$2ISSN$$a1522-2454 000160069 0247_ $$2DOI$$a10.1002/vipr.200790042 000160069 0247_ $$2HSB$$aik200000099x 000160069 037__ $$aRWTH-CONV-038242 000160069 041__ $$aEnglish 000160069 1001_ $$0P:(DE-82)006997$$avon Fragstein, Friederike$$b0$$eAuthor 000160069 245__ $$aMonitoring of plasma processes by OES$$honline, print 000160069 260__ $$aWeinheim$$bWILEY-VCH$$c2007 000160069 3367_ $$0PUB:(DE-HGF)16$$2PUB:(DE-HGF)$$aJournal Article$$bjournal$$mjournal 000160069 3367_ $$2DataCite$$aOutput Types/Journal article 000160069 3367_ $$00$$2EndNote$$aJournal Article 000160069 3367_ $$2BibTeX$$aARTICLE 000160069 3367_ $$2ORCID$$aJOURNAL_ARTICLE 000160069 3367_ $$2DRIVER$$aarticle 000160069 591__ $$aGermany 000160069 7001_ $$0P:(DE-82)041704$$aSchmachtenberg, Ernst$$b1$$eAuthor 000160069 7001_ $$0P:(DE-82)071789$$aHegenbart, Andreas Christoph$$b2$$eAuthor 000160069 773__ $$0PERI:(DE-600)2045181-7$$a10.1002/vipr.200790042$$nS1$$p39-43$$tVakuum in Forschung und Praxis : VIP$$v19$$x0947-076X 000160069 909CO $$ooai:publications.rwth-aachen.de:160069$$pVDB 000160069 9201_ $$0I:(DE-82)419310_20140620$$k419310$$lLehrstuhl für Kunststoff-Werkstofftechnik$$x0 000160069 961__ $$c2014-11-11$$x2008-07-23$$z2012-02-20 000160069 970__ $$aik200000099x 000160069 980__ $$ajournal 000160069 980__ $$aI:(DE-82)419310_20140620 000160069 980__ $$aVDB 000160069 980__ $$aUNRESTRICTED 000160069 980__ $$aConvertedRecord