TY - JOUR AU - von Fragstein, Friederike AU - Schmachtenberg, Ernst AU - Hegenbart, Andreas Christoph TI - Monitoring of plasma processes by OES JO - Vakuum in Forschung und Praxis : VIP VL - 19 IS - S1 SN - 0947-076X CY - Weinheim PB - WILEY-VCH M1 - RWTH-CONV-038242 SP - 39-43 PY - 2007 LB - PUB:(DE-HGF)16 DO - DOI:10.1002/vipr.200790042 UR - https://publications.rwth-aachen.de/record/160069 ER -