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TY  - JOUR
AU  - von Fragstein, Friederike
AU  - Schmachtenberg, Ernst
AU  - Hegenbart, Andreas Christoph
TI  - Monitoring of plasma processes by OES
JO  - Vakuum in Forschung und Praxis : VIP
VL  - 19
IS  - S1
SN  - 0947-076X
CY  - Weinheim
PB  - WILEY-VCH
M1  - RWTH-CONV-038242
SP  - 39-43
PY  - 2007
LB  - PUB:(DE-HGF)16
DO  - DOI:10.1002/vipr.200790042
UR  - https://publications.rwth-aachen.de/record/160069
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