h1

h2

h3

h4

h5
h6
000174315 001__ 174315
000174315 005__ 20170624213307.0
000174315 0247_ $$2ISSN$$a0167-9317
000174315 0247_ $$2HSB$$aama8274
000174315 037__ $$aRWTH-CONV-051559
000174315 041__ $$aEnglish
000174315 1001_ $$0P:(DE-82)065058$$aLauer, V.$$b0$$eAuthor
000174315 245__ $$aProcess induced radiation damage in MOS structures$$honline, print
000174315 260__ $$aAmsterdam [u.a.]$$bElsevier$$c1989
000174315 3367_ $$0PUB:(DE-HGF)16$$2PUB:(DE-HGF)$$aJournal Article$$bjournal$$mjournal
000174315 3367_ $$2DataCite$$aOutput Types/Journal article
000174315 3367_ $$00$$2EndNote$$aJournal Article
000174315 3367_ $$2BibTeX$$aARTICLE
000174315 3367_ $$2ORCID$$aJOURNAL_ARTICLE
000174315 3367_ $$2DRIVER$$aarticle
000174315 7001_ $$0P:(DE-82)108534$$aBalk, P.$$b1$$eAuthor
000174315 773__ $$0PERI:(DE-600)1497065-x$$p611-614$$tMicroelectronic engineering$$v9$$x0167-9317
000174315 909CO $$ooai:publications.rwth-aachen.de:174315$$pVDB
000174315 9151_ $$0StatID:(DE-HGF)0031$$2StatID$$aPeer reviewed article
000174315 9201_ $$0I:(DE-82)ama216_20140620$$kama216$$lLehr- und Forschungsgebiet Halbleitertechnologie$$x0
000174315 9201_ $$0I:(DE-82)616210_20140620$$k616210$$lLehrstuhl und Institut für Halbleitertechnik$$x1
000174315 961__ $$c2014-08-12$$x2011-03-24
000174315 970__ $$aama8274
000174315 980__ $$ajournal
000174315 980__ $$aI:(DE-82)ama216_20140620
000174315 980__ $$aI:(DE-82)616210_20140620
000174315 980__ $$aVDB
000174315 980__ $$aUNRESTRICTED
000174315 980__ $$aConvertedRecord