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Faseroptische Sensoren zur Prozeßüberwachung in der Mikrosystemtechnik
2000
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
Genehmigende Fakultät
Fak04
Hauptberichter/Gutachter
Tag der mündlichen Prüfung/Habilitation
2000-06-30
Online
URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-314
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/59864/files/Broecher_Benno.pdf
Einrichtungen
Inhaltliche Beschreibung (Schlagwörter)
Ingenieurwissenschaften (frei) ; Mikrosystemtechnik (frei) ; Prozessüberwachung (frei) ; Multisensor (frei) ; Faseroptischer Sensor (frei)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 620
Kurzfassung
Die Mikrosystemtechnik wird vielfach als Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts bezeichnet, da sie das Potential hat, durch innovative Technologien eine Vielzahl neuer Anwendungsfelder zu eröffnen. Jedoch ist der Durchbruch noch nicht geschafft. Das liegt unter anderem daran, daß neben fehlenden Standards die Montage von nicht monolithisch aufgebauten Systemen besonders zeit- und kostenintensiv ist, da hier in der Regel auf Handarbeit zurückgegriffen werden muß. Zu einer kostengünstigen, automatisierten Montage, welche die manuellen Arbeitsschritte ersetzt und gleichzeitig qualitativ hochwertige Produkte hervorbringt, ist die Überwachung und die anschließende simultane Steuerung der Handhabungs- und Fügeprozesse unabdingbar. Hier setzen die Untersuchungen und Entwicklungen ein, die in dieser Dissertation dokumentiert sind. Der Schwerpunkt liegt dabei in der Nutzung faseroptischer Sensoren, die aufgrund verschiedener Vorteile und der Kombinationsmöglichkeit mit anderen Überwachungsverfahren für diese Aufgabe prädestiniert sind. Im Rahmen dieser Arbeit werden neue Möglichkeiten faseroptischer Sensoren und speziell die Potentiale eines faseroptischen Multisensorsystems hinsichtlich des Einsatzes in der Mikrosystemtechnik untersucht. Die Basis bildet dabei der konzeptionelle Entwurf eines flexibel gestaltbaren Bildleiters sowie die Entwicklung des für die Realisierung dieses Konzeptes notwendigen Verfahrens zur Kalibrierung von inkohärenten Lichtwellenleiterbündeln. Die daraus erwachsenen innovativen Anwendungsmöglichkeiten werden am konkreten Beispiel der Prozeßüberwachung bei der Montage von Mikrosystemen aufgezeigt.MEMS (Micro Electronic and Mechanical System) technique is often named a key technique in the 21st century because it has the potential to open by innovative technologies a multiplicity of new application fields. However, the break-through is not yet created. That is among other things because of the fact that beside missing standards the assembly of not monolithically structured systems is particularly time and cost-intensive, since it is done manually. For a economical, automated assembly, which replaces the manual work procedures and brings at the same time high-quality products out, the monitoring and the following simultaneous controlling of the handling and assembling processes are indispensable. Here the investigations and developments begin, which are documented in this thesis. The emphasis is thereby in the use of fibre-optic sensors, which are suited due to different advantages and the possibility of combination with other monitoring procedures for this function. In the context of this work new possibilities of fibre-optic sensors and particularly the potentials of a fibre-optic multi-sensor system are examined regarding the application in the MEMS technique. The base forms thereby the conceptional design of a flexibly shapable image-guide as well as the development of a procedure for the calibration of incoherent fibre-optic bundles, necessary for the implementation of this concept. The innovative application possibilities are pointed out by the concrete example of the process control when assembling MEMS.
OpenAccess: 
PDF
(additional files)
Dokumenttyp
Dissertation / PhD Thesis/Book
Format
online, print
Sprache
German
Externe Identnummern
HBZ: HT012901931
Interne Identnummern
RWTH-CONV-121609
Datensatz-ID: 59864
Beteiligte Länder
Germany
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