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Entwicklung eines Triple-gate-CMOS-Prozesses auf SOI-Material
2004
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
In der Vorlage auch: ISSN 0945-0785
Genehmigende Fakultät
Fak06
Hauptberichter/Gutachter
Tag der mündlichen Prüfung/Habilitation
2003-07-30
Einrichtungen
Dokumenttyp
Dissertation / PhD Thesis/Book
Format
print
Sprache
German
Interne Identnummern
RWTH-CONV-124954
Datensatz-ID: 63524
Beteiligte Länder
Germany
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