%0 Journal Article %A Bobzin, Kirsten %A Brögelmann, Tobias %A Kruppe, Nathan Christopher %A Naderi, Mona %T Physical Vapour Deposition : Hartstoffbeschichtungen für die Verarbeitung von Polymethylmethacrylat %J Galvanotechnik : Fachzeitschrift für die Praxis der Oberflächenbehandlung: Photovoltaik, Dünnschicht- und Plasmatechnik, Mikrosystemtechnik und Umwelttechnik %V 109 %N 5 %@ 0016-4232 %C Bad Saulgau %I Leuze %M RWTH-2018-224973 %P 873-884 %D 2018 %F PUB:(DE-HGF)16 %9 Journal Article %U https://publications.rwth-aachen.de/record/726482