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TY  - JOUR
AU  - Brinksmeier, E.
AU  - Reese, Stefanie
AU  - Klink, Andreas
AU  - Langenhorst, L.
AU  - Lübben, T.
AU  - Meinke, Matthias
AU  - Meyer, D.
AU  - Riemer, O.
AU  - Sölter, J.
TI  - Underlying Mechanisms for Developing Process Signatures in Manufacturing
JO  - Nanomanufacturing and Metrology
VL  - 1
IS  - 4
SN  - 2520-8128
CY  - [Singapore]
PB  - Springer Singapore
M1  - RWTH-2019-00410
SP  - 193-208
PY  - 2018
LB  - PUB:(DE-HGF)16
DO  - DOI:10.1007/s41871-018-0021-z
UR  - https://publications.rwth-aachen.de/record/753138
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