TY - JOUR AU - Brinksmeier, E. AU - Reese, Stefanie AU - Klink, Andreas AU - Langenhorst, L. AU - Lübben, T. AU - Meinke, Matthias AU - Meyer, D. AU - Riemer, O. AU - Sölter, J. TI - Underlying Mechanisms for Developing Process Signatures in Manufacturing JO - Nanomanufacturing and Metrology VL - 1 IS - 4 SN - 2520-8128 CY - [Singapore] PB - Springer Singapore M1 - RWTH-2019-00410 SP - 193-208 PY - 2018 LB - PUB:(DE-HGF)16 DO - DOI:10.1007/s41871-018-0021-z UR - https://publications.rwth-aachen.de/record/753138 ER -