TY - JOUR AU - Bobzin, Kirsten AU - Kalscheuer, Christian AU - Möbius, Max Philip AU - Janowitz, Julia AU - Heinemann, Hendrik AU - Erck, Marvin AU - Vogels, Carsten TI - Sensor-Aktor-Schicht - Wegbereiter für die Temperaturkontrolle auf Werkzeugoberflächen JO - Vakuum in Forschung und Praxis VL - 35 IS - 6 SN - 0934-9758 CY - Weinheim PB - Wiley-VCH M1 - RWTH-2023-11713 SP - 33-37 PY - 2023 LB - PUB:(DE-HGF)16 UR - <Go to ISI:>//WOS:001122460200001 DO - DOI:10.1002/vipr.202300810 UR - https://publications.rwth-aachen.de/record/974954 ER -