Low coherence interferometry for depth monitoring in water jet guided laser micro machining

Kunze, Rouwen Elia; Schmitt, Robert H.; Schmidt, Michael

doi:43989

Low coherence interferometry for depth monitoring in water jet guided laser micro machining = Kurzkohärente Interferometrie zur Tiefenmessung in der wasserstrahlgeführten Lasermikrostrukturierung

Kunze, Rouwen Elia^RWTH*

2025

VerantwortlichkeitsangabeRouwen Elia Kunze

Ausgabe1. Auflage

ImpressumAachen : Apprimus Verlag 2025

Umfang1 Online-Ressource

ISBN978-3-98555-247-4

ReiheErgebnisse aus der Produktionstechnik ; 2024,29

Dissertation, RWTH Aachen University, 2024

Druckausgabe: 2025. - Auch veröffentlicht auf dem Publikationsserver der RWTH Aachen University. - Weitere Reihe: Produktionsqualität und Messtechnik.- Weitere Reihe: Edition Wissenschaft Apprimus

Genehmigende Fakultät
Fak04

Hauptberichter/Gutachter
Schmitt, Robert H. (Thesis advisor)^RWTH* ; Schmidt, Michael (Thesis advisor)

Tag der mündlichen Prüfung/Habilitation
2024-09-12

Online
DOI: 10.18154/RWTH-2025-01004
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/1003352/files/1003352.pdf

Einrichtungen

Projekte

BMBF 01QE1638C - Verbundprojekt: Herstellung von Formeinsätzen mit hohem Aspektverhältnis durch Einsatz von wasserstrahlgeführter Lasermaterialbearbeitung; Teilprojekt: Entwicklung eines Messsystems für die wasserstrahlgeführte Lasermaterialbearbeitung (01QE1638C) (01QE1638C)

Inhaltliche Beschreibung (Schlagwörter)
inline metrology (frei) ; laser process control (frei) ; low coherence interferometry (LCI) (frei) ; water jet guided laser micro machining (frei)

Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 620

Kurzfassung
Laser bilden eine leistungsfähige Klasse von Fertigungsverfahren, die durch ihre spezifischen optischen Randbedingungen bei der Erzeugung von Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen begrenzt sind. Die Führung des Laserstrahls über einen Wasserstrahl als Lichtwellenleiter ermöglicht wesentlich größere Abtragstiefen bei kleinen lateralen Strukturgrößen. In dieser Arbeit wird ein Inline-Messsystem beschrieben, das die Tiefenmessung und Regelung des Lasermaterialabtrags bei der wasserstrahlgeführten Lasermikrobearbeitung ermöglicht.

Lasers are a powerful class of production processes that are limited by their specific optical boundary conditions in the generation of structures with high aspect ratios. Guiding the laser beam via a water jet as an optical waveguide enables much greater ablation depths with small lateral structure sizes. This book describes an inline measurement system that enables depth measurement and control of material removal in water jet based laser micro machining.

OpenAccess:
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