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Entwicklung und Charakterisierung elektronischer Bauelementstrukturen auf der Basis einkristalliner CoSi 2 /Si(100)-Heterostrukturen und sub-my-m-Strukturierung dieses Schichtsystems durch lokale Oxidation
1997
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1997
Auch als:‘Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3446
Genehmigende Fakultät
Fak00
Hauptberichter/Gutachter
Online
URL: http://hdl.handle.net/2128/22031
Einrichtungen
External link: 
Bibliographic record
Dokumenttyp
Dissertation / PhD Thesis
Format
print, online
Sprache
German
Externe Identnummern
HBZ: HT008062407
Interne Identnummern
RWTH-CONV-116794
Datensatz-ID: 54642
Beteiligte Länder
Germany
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Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, Berichte des Forschungszentrums Jülich 3446, 117 S. : Ill., graph. Darst. (1997) = Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1997
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