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Entwicklung und Charakterisierung vertikaler Silizium-Feldeffekttransistoren auf der Basis selektiver Epitaxie
1998
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998
Genehmigende Fakultät
Fak00
Hauptberichter/Gutachter
Online
URL: http://hdl.handle.net/2128/22421
Einrichtungen
External link: 
Bibliographic record
Dokumenttyp
Dissertation / PhD Thesis
Format
print, online
Sprache
German
Externe Identnummern
HBZ: HT008955349
Interne Identnummern
RWTH-CONV-119398
Datensatz-ID: 57344
Beteiligte Länder
Germany
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