Record #892789 - RWTH Publications

DFG project G:(GEPRIS)178035658

Auswirkungen von Plasmaeigenschaften auf Schichteigenschaften in gepulsten Hochleistungsplasmen (C06)

Coordinator	Dr.-Ing. Nazlim Bagcivan ; Professorin Dr.-Ing. Kirsten Bobzin ; Dr.-Ing. Tobias Brögelmann
Grant period	2010 - 2022
Funding body	Deutsche Forschungsgemeinschaft
	DFG
Identifier	G:(GEPRIS)178035658

⇧ TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten ⇧

Note: In C06 als Teilprojekt im Plasma-Oberflächenmodell (PSM) stehen die Validierung der Methodik zur Prozessanalyse in einer großskaligen Beschichtungsanlage und die Übertragung der entwickelten Diagnostikmethoden hin zu einer produktionstauglichen Prozessdiagnostik für gepulste Hochleistungsplasmen im Fokus. Erstmals wird die substratseitige Reinigungswirkung des Plasmaätzens zur Haftungssteigerung auf Stahl- und Kunststoffsubstraten diagnostisch untersucht. Ein weiterer Schwerpunkt besteht im Aufbau und in der Validierung künstlicher neuronaler Netzwerke für die Zusammenhänge Prozess-Plasma, Plasma-Schicht und Schicht-System. C06 leistet einen zentralen Beitrag zur Überwindung der empirischen Vorgehensweise bei der Schichtentwicklung.