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Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target
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In
Festschrift Honoring Dr. Steve Rossnagel
In
Journal of vacuum science & technology : JVST / A 38(2), Seiten/Artikel-Nr.:023401
2020
Online
DOI: 10.1116/1.5138248
DOI: 10.18154/RWTH-2020-01335
URL: http://publications.rwth-aachen.de/record/781501/files/781501.pdf
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Werkstoffchemie (521110)
- Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik (520000)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 530
OpenAccess: 
PDF
Dokumenttyp
Journal Article/Contribution to a book
Format
online, print
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85078461773
WOS Core Collection: WOS:000515511800001
Interne Identnummern
RWTH-2020-01335
Datensatz-ID: 781501
Beteiligte Länder
Austria, Germany
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; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Electronics and Telecommunications Collection ; Current Contents - Engineering, Computing and Technology ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; Essential Science Indicators ; IF < 5 ; JCR ; National-Konsortium ; PubMed Central ; SCOPUS ; Science Citation Index ; Science Citation Index Expanded ; Science Citation Index Expanded ; Web of Science Core Collection
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