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Investigation of the release of hydrogen gas from PECVD thin films in cavities of MEMS sensors = Untersuchung der Wasserstofffreisetzung aus PECVD-Dünnschichten in Kavernen von MEMS-Sensoren
2025
Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2025
Genehmigende Fakultät
Fak06
Hauptberichter/Gutachter
;
Tag der mündlichen Prüfung/Habilitation
2025-06-02
Online
URL: https://digitale-objekte.hbz-nrw.de/storage2/2025/11/15/file_14/10082229.pdf
Einrichtungen
Projekte
Inhaltliche Beschreibung (Schlagwörter)
3D integration (frei) ; MEMS (frei) ; hydrogen (frei) ; outgassing (frei)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 621.3
Kurzfassung
online nicht verfügbar
External link: 
Table of contents
Dokumenttyp
Dissertation / PhD Thesis
Format
print
Sprache
English
Externe Identnummern
HBZ: HT031287429
Interne Identnummern
RWTH-2025-06821
Datensatz-ID: 1016218
Beteiligte Länder
Germany
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