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On-chip stencil lithography for superconducting qubits
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In
Applied physics reviews 13(2), Seiten/Artikel-Nr.:021403
2026
Online
DOI: 10.1063/5.0307532
DOI: 10.18154/RWTH-2026-04340
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/1033821/files/1033821.pdf
Einrichtungen
- JARA-Institut FIT Green IT (080044)
- Lehrstuhl für Experimentalphysik IV F (FZ Jülich) (134610)
- Fachgruppe Physik (130000)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 530
OpenAccess: 
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
WOS Core Collection: WOS:001733540400001
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-105036233413
OpenAlex: W4414877978
Interne Identnummern
RWTH-2026-04340
Datensatz-ID: 1033821
Beteiligte Länder
Germany, Netherlands
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; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; Ebsco Academic Search ; Essential Science Indicators ; IF >= 15 ; JCR ; National-Konsortium ; SCOPUS ; Science Citation Index Expanded ; Web of Science Core Collection
PDF