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In
Journal of vacuum science & technology : JVST / B 5, Seiten/Artikel-Nr.:1453-1459
1987
Einrichtungen
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online, print
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Interne Identnummern
RWTH-CONV-049755
Datensatz-ID: 172295