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Hybrid multi-chip assembly of optical communication engines by in situ 3D nano-lithography
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In
Light : Science & Applications 9(1), Seiten/Artikel-Nr.:71
2020
Online
DOI: 10.1038/s41377-020-0272-5
DOI: 10.18154/RWTH-2020-05546
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/791699/files/791699.pdf
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik (616210)
- Lehrstuhl für Integrierte Photonik (616710)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 530
OpenAccess: 
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85083974729
WOS Core Collection: WOS:000531291100001
PubMed: pmid:32351695
Interne Identnummern
RWTH-2020-05546
Datensatz-ID: 791699
Beteiligte Länder
Germany
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; Article Processing Charges ; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Engineering, Computing and Technology ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; DOAJ Seal ; Essential Science Indicators ; Fees ; IF >= 10 ; JCR ; PubMed Central ; SCOPUS ; Science Citation Index Expanded ; Web of Science Core Collection
PDF