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Depth profiling of microelectronic structures by SIMS and AES



In
Proceedings of the Seventh Czechoslovak Conference on Electronics and Vacuum Physics, Bratislava, September 3 - 6, 1985. - Pt. 1, Seiten/Artikel-Nr: 62-76

Konferenz/Event:7. Czechoslovak Conference on Electronics and Vacuum Physics , Bratislava , Czech Republic , 1985-09-03 - 1985-09-06

ImpressumBratislava

Umfang62-76

TH-Kapsel-Nr.: 11917

Einrichtungen

  1. RWTH Aachen (hsbk000000)



Dokumenttyp
Contribution to a conference proceedings

Format
print

Sprache
English

Anmerkung
Peer review status of article unknown

Interne Identnummern
RWTH-2021-03012
Datensatz-ID: 816162

Beteiligte Länder
Germany

 GO

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Dokumenttypen > Ereignisse > Beiträge zu Proceedings
RWTH Aachen (ohne Einrichtungszuordnung)
Öffentliche Einträge
Publikationsdatenbank
 Datensatz erzeugt am 2021-03-22, letzte Änderung am 2022-11-03
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