Processing map to control the erosion of Y$_{2}$O$_{3}$ in fluorine based etching plasmas

Kindelmann, Moritz; Weber, Moritz Lukas; Breuer, Uwe; Stamminger, Mark; Guillon, Olivier; Bram, Martin; Buschhaus, Rahel

doi:SCOPUS:2-s2.0-85122726317

Processing map to control the erosion of Y$_{2}$O$_{3}$ in fluorine based etching plasmas

Kindelmann, Moritz (Corresponding author)^RWTH* ; Weber, Moritz Lukas^RWTH* ; Stamminger, Mark ; Buschhaus, Rahel ; Breuer, Uwe ; Bram, Martin ; Guillon, Olivier^RWTH*

In
Journal of the American Ceramic Society 105(5), Seiten/Artikel-Nr.:3498-3506

2022

ImpressumOxford [u.a.] : Wiley-Blackwell

ISSN1551-2916

Online
DOI: 10.18154/RWTH-2022-00892
DOI: 10.1111/jace.18334
10.1111/jace.18334
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/839862/files/839862.pdf

Einrichtungen

Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 660

OpenAccess:
PDF

Dokumenttyp
Journal Article

Format
online, print

Sprache
English

Anmerkung
No peer reviewed article

Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85122726317
WOS Core Collection: WOS:000742762600001

Interne Identnummern
RWTH-2022-00892
Datensatz-ID: 839862

Beteiligte Länder
Germany

Lizenzstatus der Zeitschrift

;

Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs CC BY-NC-ND 4.0

;

; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Engineering, Computing and Technology ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; DEAL Wiley ; DEAL Wiley ; Ebsco Academic Search ; Essential Science Indicators ; IF < 5 ; IF < 5 ; JCR ; Nationallizenz