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Suspended Two-Dimensional Material Membranes For Sensor Applications Fabricated With A High-Yield Transfer Process
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In
2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS) : 15-19 Jan. 2023 / conference chairs: Núria Barniol (Universidad Autonoma Barcelona, Spain), Franz Lärmer (Bosch, GmbH, Germany), Seiten/Artikel-Nr: 627-630
2023
Online
DOI: 10.1109/MEMS49605.2023.10052595
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (618710)
- Lehr- und Forschungsgebiet Technologie der Verbindungshalbleiter (612020)
Projekte
- BMBF 16ES1121K - Verbundprojekt: Erforschung innovativer nanoelektromechanischer Drucksensoren auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme : ForMikro-NobleNEMS. - Teilvorhaben: Bauelemente und Integration (BMBF-16ES1121K) (BMBF-16ES1121K)
- BMBF 16ME0399 - Verbundprojekt: Neuro-inspirierte Technologien der künstlichen Intelligenz für die Elektronik der Zukunft - NEUROTEC II - (BMBF-16ME0399) (BMBF-16ME0399)
- BMBF 03ZU1106AA - NeuroSys: Memristor Crossbar Architekturen (Projekt A) - A (03ZU1106AA) (03ZU1106AA)
- GrapheneCore3 - Graphene Flagship Core Project 3 (881603) (881603)
- ULISSES - Ultra low-power integrated optical sensor systems for networked environmental multichannel gas Sensing (825272) (825272)
Dokumenttyp
Contribution to a book/Contribution to a conference proceedings
Format
online, print
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85149851523
WOS Core Collection: WOS:000975359200165
Interne Identnummern
RWTH-2023-02566
Datensatz-ID: 953264
Beteiligte Länder
Germany
