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High-Yield Large-Scale Suspended Graphene Membranes over Closed Cavities for Sensor Applications
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In
ACS nano 18(37), Seiten/Artikel-Nr.:25614-25624
2024
Online
DOI: 10.1021/acsnano.4c06827
DOI: 10.18154/RWTH-2024-08301
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/992612/files/992612.pdf
Einrichtungen
Projekte
- BMBF 16ES1121K - Verbundprojekt: Erforschung innovativer nanoelektromechanischer Drucksensoren auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme : ForMikro-NobleNEMS. - Teilvorhaben: Bauelemente und Integration (BMBF-16ES1121K) (BMBF-16ES1121K)
- GIMMIK : Graphenprozessierung auf 200mm Wafern für mikroelektronische Anwendungen (BMBF-03XP0210F) (BMBF-03XP0210F)
- GrapheneCore3 - Graphene Flagship Core Project 3 (881603) (881603)
- DFG project 436607160 - NEMS Sensoren aus 2D-Material-Heterostrukturen (436607160) (436607160)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 540
OpenAccess: 
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online, print
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85204117109
WOS Core Collection: WOS:001309487600001
PubMed: pmid:39244663
Interne Identnummern
RWTH-2024-08301
Datensatz-ID: 992612
Beteiligte Länder
Germany, Netherlands
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; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; Essential Science Indicators ; IF >= 15 ; JCR ; SCOPUS ; Science Citation Index Expanded ; Web of Science Core Collection
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