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Advanced atmospheric pressure CVD of a-Si:H using pure and cyclooctane-diluted trisilane as precursors
Fischer, Benedikt (Corresponding author)RWTH* ; Nuys, Maurice ; Astakhov, Oleksandr ; Haas, Stefan ; Schaaf, Michael ; Besmehn, Astrid ; Jakes, Peter ; Eichel, Rüdiger-A.RWTH* ; Rau, UweRWTH*
In
Sustainable energy & fuels 8(23), Seiten/Artikel-Nr.:5568-5580
2024
ImpressumCambridge : Royal Society of Chemistry
ISSN2398-4902
Online
DOI: 10.1039/D4SE01308E
10.1039/D4SE01308E
DOI: 10.1039/d4se01308e
10.1039/d4se01308e
DOI: 10.18154/RWTH-2025-00141
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/1000077/files/1000077.pdf
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Materialien und Prozesse für elektrochemische Energiespeicher und -wandler (FZ Jülich) (155410)
- Fachgruppe Chemie (150000)
- Institut für Physikalische Chemie (153005)
- JARA-ENERGY (080011)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 660
OpenAccess:
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85208655759
WOS Core Collection: WOS:001344579800001
Interne Identnummern
RWTH-2025-00141
Datensatz-ID: 1000077
Beteiligte Länder
Germany


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; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Engineering, Computing and Technology ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; Essential Science Indicators ; IF >= 5 ; JCR ; National-Konsortium ; SCOPUS ; Science Citation Index Expanded ; Web of Science Core Collection