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Assessment of wafer-level transfer techniques of graphene with respect to semiconductor industry requirements
Wittmann, SebastianRWTH* ; Pindl, StephanRWTH* ; Sawallich, Simon ; Nagel, Michael ; Michalski, Alexander ; Pandey, Himadri ; Esteki, ArdeshirRWTH* ; Kataria, SatenderRWTH* ; Lemme, Max C. (Corresponding author)RWTH*
In
Advanced Materials Technologies 8(8), Seiten/Artikel-Nr.:2201587
2023
ImpressumWeinheim : Wiley
Umfang1-10
ISSN2365-709X
First published: 29 January 2023
Online
DOI: 10.18154/RWTH-2023-01062
DOI: 10.1002/admt.202201587
10.1002/admt.202201587
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/889253/files/889253.pdf
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (618710)
Projekte
- GIMMIK : Graphenprozessierung auf 200mm Wafern für mikroelektronische Anwendungen (BMBF-03XP0210F) (BMBF-03XP0210F)
- GrapheneCore3 - Graphene Flagship Core Project 3 (881603) (881603)
- GrapheneCore2 - Graphene Flagship Core Project 2 (785219) (785219)
- 2D-EPL - Graphene Flagship 2D Experimental Pilot Line (952792) (952792)
- OA - Open Access Publikation mit Unterstützung der Universitätsbibliothek der RWTH Aachen University (X021000-OA) (X021000-OA)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 600
OpenAccess:
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85147304142
WOS Core Collection: WOS:000921269600001
Interne Identnummern
RWTH-2023-01062
Datensatz-ID: 889253
Beteiligte Länder
Germany


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