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Lateral Electrochemical Metallization Cells for Reconfigurable Interconnect Systems

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In
IEEE journal of the Electron Devices Society 11, Seiten/Artikel-Nr.:432-437

Impressum[New York, NY] : IEEE

ISSN2168-6734

Online
DOI: 10.1109/JEDS.2023.3297855

DOI: 10.18154/RWTH-2023-08319
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/967904/files/967904.pdf

Einrichtungen

  1. Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik (616210)
  2. Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik II und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik (611610)


Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 621.3

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Dokumenttyp
Journal Article

Format
online

Sprache
English

Anmerkung
Peer reviewed article

Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85168082381
WOS Core Collection: WOS:001045254200001

Interne Identnummern
RWTH-2023-08319
Datensatz-ID: 967904

Beteiligte Länder
Germany

Lizenzstatus der Zeitschrift

 GO


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616210
611610

 Record created 2023-08-28, last modified 2024-09-03


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