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Mitigating the degradation of metal–semiconductor contacts with optimized electron beam evaporation
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In
Micro and nano engineering 32, Seiten/Artikel-Nr.:100368
2026
Online
DOI: 10.1016/j.mne.2026.100368
DOI: 10.18154/RWTH-2026-05975
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/1037338/files/1037338.pdf
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik (612510)
- Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik (616210)
Projekte
- OAPKF - Open-Access-Publikation mit Unterstützung der RWTH Aachen University (021000-OAPKF) (021000-OAPKF)
- BMBF 16ME0399 - Verbundprojekt: Neuro-inspirierte Technologien der künstlichen Intelligenz für die Elektronik der Zukunft - NEUROTEC II - (BMBF-16ME0399) (BMBF-16ME0399)
- DFG project G:(GEPRIS)528378584 - TRR 404: Zukunftsweisende Elektronik durch aktive Bauelemente in drei Dimensionen (Active-3D) (528378584) (528378584)
- DFG project G:(GEPRIS)387743155 - Kopplung von Quantendots mit Supraleitern - langreichweitige Kopplung von Quantenbits (387743155) (387743155)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 620
OpenAccess: 
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-105041560217
WOS Core Collection: WOS:001800882800001
OpenAlex: W7164675878
Interne Identnummern
RWTH-2026-05975
Datensatz-ID: 1037338
Beteiligte Länder
Germany
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; Article Processing Charges ; Clarivate Analytics Master Journal List ; DOAJ Seal ; Emerging Sources Citation Index ; Fees ; Mirror Journal ; SCOPUS ; Web of Science Core Collection
| Typ | Amount | VAT | Currency | Share | Status | Cost centre |
| APC | 1808.00 | 126.56 | EUR | 95.41 % | (DEAL) | 021000-616210 |
| Other | 87.00 | 6.09 | EUR | 4.59 % | (DEAL) | 021000-616210 |
| Sum | 1895.00 | 132.65 | EUR | |||
| Total | 2027.65 |
Datensatz erzeugt am 2026-06-15, letzte Änderung am 2026-09-14
OpenAccess:
PDF
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