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Monitoring of plasma processes by OES
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In
Vakuum in Forschung und Praxis : VIP 19(S1), Seiten/Artikel-Nr.:39-43
2007
Online
DOI: 10.1002/vipr.200790042
Einrichtungen
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online, print
Sprache
English
Interne Identnummern
RWTH-CONV-038242
Datensatz-ID: 160069
Beteiligte Länder
Germany
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Record created 2013-01-28, last modified 2022-08-10