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Fabrication of ultrasmall si encapsulated in silicon dioxide and silicon nitride as alternative to impurity doping
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In
Physica status solidi / A 220(13), Seiten/Artikel-Nr.:2300066
2023
Online
DOI: 10.18154/RWTH-2023-06402
DOI: 10.1002/pssa.202300066
URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/960775/files/960775.pdf
Einrichtungen
- Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie (025000)
- Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik (616210)
- Lehrstuhl für Mikrostrukturanalytik (025010)
- Fachgruppe Physik (130000)
Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 530
OpenAccess: 
PDF
Dokumenttyp
Journal Article
Format
online
Sprache
English
Anmerkung
Peer reviewed article
Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-85160748281
WOS Core Collection: WOS:001004594600001
Interne Identnummern
RWTH-2023-06402
Datensatz-ID: 960775
Beteiligte Länder
Australia, Germany
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; Clarivate Analytics Master Journal List ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; DEAL Wiley ; Ebsco Academic Search ; Essential Science Indicators ; IF < 5 ; JCR ; Nationallizenz
; SCOPUS ; Science Citation Index Expanded ; Web of Science Core Collection
Record created 2023-07-03, last modified 2025-05-14
OpenAccess:
PDF
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