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Extreme ultraviolet proximity lithography for fast, flexible and parallel fabrication of infrared antennas

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In
Optics express 23(20), Seiten/Artikel-Nr.:25487-25495

ImpressumWashington, DC : Optical Society of America

ISSN1094-4087

Online
DOI: 10.18154/RWTH-2015-05140
DOI: 10.1364/OE.23.025487

URL: https://publications.rwth-aachen.de/record/538246/files/538246.pdf

Einrichtungen

  1. Lehrstuhl für Technologie optischer Systeme (418910)
  2. JARA-FIT (080009)
  3. Lehr- und Forschungsgebiet Physik (131820)
  4. Lehr- und Forschungsgebiet für Experimentalphysik (139420)
  5. Fachgruppe Physik (130000)
  6. Lehr- und Forschungsgebiet Metamaterialien und Nano-Optik (136720)


Thematische Einordnung (Klassifikation)
DDC: 530

OpenAccess:
Download fulltext PDF

Dokumenttyp
Journal Article

Format
online

Sprache
English

Anmerkung
Peer reviewed article

Externe Identnummern
SCOPUS: SCOPUS:2-s2.0-84943750490
WOS Core Collection: WOS:000365077900008
PubMed: pmid:26480066
OpenAlex: W2175157904

Interne Identnummern
RWTH-2015-05140
Datensatz-ID: 538246

Beteiligte Länder
Germany

Lizenzstatus der Zeitschrift

 GO

Medline ; DOAJ ; OpenAccess ; Current Contents - Physical, Chemical and Earth Sciences ; Free to read ; IF < 5 ; JCR ; SCOPUS ; Science Citation Index ; Science Citation Index Expanded ; Thomson Reuters Master Journal List ; Web of Science Core Collection
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Faculty of Mathematics and Natural Sciences (Fac.1) > Department of Physics
Faculty of Mechanical Engineering (Fac.4)
Publication server / Open Access
Central and Other Institutions
Public records
Publications database
080009
136720
131820
130000
418910
139420
 Record created 2015-09-22, last modified 2026-10-02
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